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글로벌 마케팅 서비스의 경험과 인프라를 통해
새로운 성장동력을 육성합니다

  • 소재기술의 선두주자,

    특수가스 Global Leader

    독자적 기술력과 지속적인 연구개발을 통해
    특수가스 소재에 대한
    솔루션 제공

    효성네오켐은 반도체 및 디스플레이 산업의 기술 로드맵에 따라
    선행적으로 소재에 대한 솔루션을 제공하기 위해
    연구소, 영업, 생산 조직이 유기적으로 협력하여 기민하게
    움직이고 있습니다.

    Global 특수가스 공급기업으로서 다양한 제품을 공급하고 있으며,
    용연, 옥산, 취저우(중국) 등 다각화된 생산거점을 기반으로
    안정적인 공급체계를 구축하고 있습니다.

    네오켐만의 독자적 기술 개발과 끊임없는 연구를 통해
    고순도 NF3 를 자체 개발하였고,
    20%F2/N2, 중수소(D2),프로필렌(C3H6),염소(Cl2), 염화수소(HCl) 등
    다양한 특수가스 포트폴리오를 보유하고 있습니다.

Product

주요제품

NF3

삼불화질소의 주 원료는 불산과 암모니아이며, 전기분해 반응 및 초저온 정제 과정을 통해 5N(99.999%) 고순도 제품을 만들고 있습니다.
NF3 는 주로 반도체 및 디스플레이 제조 공정 중 CVD Chamber 세정 및 반도체 식각용으로 사용합니다.

20%F2/N2

전기분해 공법을 통해 고순도 F2가스를 생산하고, 이를 고순도 N2 와 혼합하여 고순도 20%F2/N2를 자체 생산하고 있습니다. 20%F2/N2는 반도체 LP_CVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 장비의 Chamber 세정용으로 사용되고 있습니다.

D2

원재료인 중수(D2O)를 안정적으로 확보 후, 전기분해 공법 및 정제를 통해 고순도 제품 생산하고 있습니다. 반도체 소자의 계면 결함을 저감하고 신뢰성을 향상시키기 위한 열처리(Annealing) 공정용 소재입니다.

기타 가스

프로필렌(C3H6) : 반도체 노광 공정의 하드마스크용 ACL증착에 사용되는 고순도 소재
HF Coolant : 반도체 에칭 장비 및 데이터센터 서버의 효율적인 열 관리를 위한 냉각 소재
C4F7N : 친환경 전력설비에 적용되는 차세대 절연가스
Cl2, HCl, N2O 등